半导体学报2004，Vol.25Issue(7)：863-868,6.
硅基纳机电探针及其敏感和执行特性
Sensitivity and Performance of Nanomechanical Electro-Thermal Probe
摘要
关键词
悬臂梁-针尖探针/纳机电系统技术/压 阻敏感/电热纳米针尖/数据存储技术分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨尊先,李昕欣,王跃林,鲍海飞,刘民,陆德仁..硅基纳机电探针及其敏感和执行特性[J].半导体学报,2004,25(7):863-868,6.基金项目
国家重点基础研究发展规划(No.G1999033103)和上海市纳米专项课题(No.0111NM077)资助项目 （No.G1999033103）
