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用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究

王晓晖 刘祥林 汪度 陆大成

半导体学报Issue(11)：867,1.
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半导体学报Issue(11)：867,1.

用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究

王晓晖 1刘祥林 1汪度 2陆大成2

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所
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摘要

关键词

氮化镓/蓝宝石/衬底/化学抛光

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王晓晖,刘祥林,汪度,陆大成..用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究[J].半导体学报,1997,(11):867,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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