红外与毫米波学报2006，Vol.25Issue(2)：86-89,4.
不同取向金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱特性研究
STUDIES ON INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY OF DIFFERENT ORIENTED CVD DIAMOND FILMS
摘要
关键词
CVD金刚石膜/红外椭圆偏振光谱/折射率/消光系数分类
数理科学引用本文复制引用
苏青峰,夏义本,王林军,刘健敏,史伟民..不同取向金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱特性研究[J].红外与毫米波学报,2006,25(2):86-89,4.基金项目
国家自然科学基金(60277024)、上海应用材料研究与发展基金、上海市纳米专项(0452nm051)和上海市重点学科(T0101)资助项目 （60277024）
