半导体学报2007,Vol.28Issue(6):869-872,4.
气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制
Control of Vapor Transport Process of Large Size ZnO Single Crystal Growth
魏学成 1赵有文 1董志远 1李晋闽1
作者信息
- 1. 中国科学院半导体研究所,北京,100083
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摘要
关键词
气相传输法/ZnO单晶/动力学/生长机理分类
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魏学成,赵有文,董志远,李晋闽..气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制[J].半导体学报,2007,28(6):869-872,4.