| 注册
首页|期刊导航|半导体学报|气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制

气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制

魏学成 赵有文 董志远 李晋闽

半导体学报2007,Vol.28Issue(6):869-872,4.
半导体学报2007,Vol.28Issue(6):869-872,4.

气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制

Control of Vapor Transport Process of Large Size ZnO Single Crystal Growth

魏学成 1赵有文 1董志远 1李晋闽1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

气相传输法/ZnO单晶/动力学/生长机理

分类

电子信息工程

引用本文复制引用

魏学成,赵有文,董志远,李晋闽..气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制[J].半导体学报,2007,28(6):869-872,4.

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

访问量2
|
下载量0
段落导航相关论文