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立方氮化硼薄膜的生长特性与粘附性研究

马锡英 岳金顺 贺德衍 陈光华

ACTA PHYSICA SINICAIssue(5)：871-875,5.
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ACTA PHYSICA SINICAIssue(5)：871-875,5.

立方氮化硼薄膜的生长特性与粘附性研究

马锡英 1岳金顺 1贺德衍 2陈光华2

作者信息

  • 1. 兰州大学物理系
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摘要

关键词

C－BN/粘附性/立方氮化硼/薄膜生长

分类

数理科学

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马锡英,岳金顺,贺德衍,陈光华..立方氮化硼薄膜的生长特性与粘附性研究[J].ACTA PHYSICA SINICA,1998,(5):871-875,5.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCD

1000-3290

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