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硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究

李剑光 叶志镇 赵炳辉 袁骏

半导体学报Issue(11)：877,1.
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半导体学报Issue(11)：877,1.

硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究

李剑光 1叶志镇 1赵炳辉 2袁骏2

作者信息

  • 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室
  • 折叠

摘要

关键词

氧化锌薄膜/磁控溅射沉积

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏..硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J].半导体学报,1996,(11):877,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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