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GaSb晶体的高能N+注入及其光学性质

郑玉祥 苏毅 周仕明 马宏舟 陈良尧 郑安生 钱佑华 林成鲁 何冶平

半导体学报Issue(11):879,1.
半导体学报Issue(11):879,1.

GaSb晶体的高能N+注入及其光学性质

郑玉祥 1苏毅 1周仕明 1马宏舟 1陈良尧 1郑安生 1钱佑华 1林成鲁 1何冶平1

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摘要

关键词

锑化镓晶体/半导体材料/氮离子注入/光学性质

分类

信息技术与安全科学

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郑玉祥,苏毅,周仕明,马宏舟,陈良尧,郑安生,钱佑华,林成鲁,何冶平..GaSb晶体的高能N+注入及其光学性质[J].半导体学报,1995,(11):879,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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