空气动力学学报2008，Vol.26Issue(z1)：87-92,6.
MEMS中气体运动的若干微尺度效应
Some microscale effects of gas flows in MEMS
摘要
关键词
微喷管/微槽道/分子泵/稀薄气体效应分类
航空航天引用本文复制引用
朱克勤,Dambricourt Pierre,郝鹏飞,Zahid Wasif Ali,尹游兵..MEMS中气体运动的若干微尺度效应[J].空气动力学学报,2008,26(z1):87-92,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(10772097). （10772097）
