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轰击离子能量对CNx薄膜中sp3 型C-N键含量的影响

李俊杰 曹培江 郑伟涛 吕宪义 卞海蛟 金曾孙

高等学校化学学报2003，Vol.24Issue(5)：880-883,4.
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高等学校化学学报2003，Vol.24Issue(5)：880-883,4.

轰击离子能量对CNx薄膜中sp3 型C-N键含量的影响

Influence of Bombarding Ions Energy on the Content of sp3 C-N Bonds in Carbon Nitride Films

李俊杰 1曹培江 2郑伟涛 1吕宪义 3卞海蛟 1金曾孙3

作者信息

  • 1. 吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130023
  • 2. 延边大学理工学院,延吉,133002
  • 3. 吉林大学材料科学与工程学院,长春,130023
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摘要

关键词

CNx薄膜/化学键合/sp3 C-N键

分类

数理科学

引用本文复制引用

李俊杰,曹培江,郑伟涛,吕宪义,卞海蛟,金曾孙..轰击离子能量对CNx薄膜中sp3 型C-N键含量的影响[J].高等学校化学学报,2003,24(5):880-883,4.

基金项目

教育部优秀中青年项目和吉林省科学技术委员会计划发展基金项目(批准号: 980544)资助. （批准号: 980544）

高等学校化学学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0251-0790

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