人工晶体学报2009，Vol.38Issue(4)：880-883,4.
ZnO压电薄膜的制备与性能表征
Preparation and Charaterization of ZnO Piezoeletric Film
摘要
关键词
ZnO薄膜/射频磁控溅射/压电性质/表面粗糙度分类
数理科学引用本文复制引用
许恒星,王金良,唐宁,彭洪勇,范超..ZnO压电薄膜的制备与性能表征[J].人工晶体学报,2009,38(4):880-883,4.基金项目
国家自然科学基金(No.10432050 （）
No.50772006) （）
