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带有非应变盖层的应变外延层的稳定性

金智 杨树人 安海岩 马春生 王本忠 刘式墉

半导体学报Issue(10)：882,1.
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半导体学报Issue(10)：882,1.

带有非应变盖层的应变外延层的稳定性

金智 1杨树人 1安海岩 2马春生 2王本忠 2刘式墉2

作者信息

  • 1. 集成光电子国家重点联合实验室
  • 折叠

摘要

关键词

应变外延层/外延生长/非应变盖层/稳定性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

金智,杨树人,安海岩,马春生,王本忠,刘式墉..带有非应变盖层的应变外延层的稳定性[J].半导体学报,1999,(10):882,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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