机械科学与技术2001，Vol.20Issue(6)：884-885,2.
平面磁控溅射薄膜厚度分布模拟
Film Thickness Distribution Simulation of Planar Magnetron Sputtering
摘要
关键词
磁控溅射/膜厚分布/计算机模拟分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宋建全,刘正堂,于忠奇,耿东生,郑修麟..平面磁控溅射薄膜厚度分布模拟[J].机械科学与技术,2001,20(6):884-885,2.基金项目
国防"九五”预研 （）
