CMOS工艺实现的热风速传感器及其封装

孙建波秦明黄庆安

东南大学学报（自然科学版）2005，Vol.35Issue(6)：886-888,3.

CMOS thermal wind sensor and its package

孙建波 ¹秦明 ¹黄庆安¹

作者信息

风速传感器/恒温差/封装

信息技术与安全科学

孙建波,秦明,黄庆安..CMOS工艺实现的热风速传感器及其封装[J].东南大学学报（自然科学版）,2005,35(6):886-888,3.

国家自然科学基金资助项目(60476019)、江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052). （60476019）

OA北大核心CSCD

ISSN：1001-0505

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