高技术通讯2001，Vol.11Issue(7)：88-90,3.
MWPCVD制备金刚石膜装置的大功率稳定运行的研究
Study of Steady Operation of the MWPCVD Apparatus for Diamond Films Deposition on Heavy-Duty
摘要
关键词
MWPCVD装置/稳定运行/微波功率/金刚石膜分类
通用工业技术引用本文复制引用
舒兴胜,邬钦崇..MWPCVD制备金刚石膜装置的大功率稳定运行的研究[J].高技术通讯,2001,11(7):88-90,3.
