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用C-V法同时测量半导体中深中心和浅杂质的浓度分布

秦国刚 杜永昌 张玉峰

半导体学报Issue(2)：89,1.
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半导体学报Issue(2)：89,1.

用C-V法同时测量半导体中深中心和浅杂质的浓度分布

秦国刚 1杜永昌 1张玉峰1

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秦国刚,杜永昌,张玉峰..用C-V法同时测量半导体中深中心和浅杂质的浓度分布[J].半导体学报,1982,(2):89,1.

半导体学报

1674-4926

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