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LDD-CMOS中ESD及其相关机理

马巍 郝跃

半导体学报2003,Vol.24Issue(8):892-896,5.
半导体学报2003,Vol.24Issue(8):892-896,5.

LDD-CMOS中ESD及其相关机理

ESD and Its Related Mechanisms on LDD-CMOS

马巍 1郝跃1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071
  • 折叠

摘要

关键词

LDD-CMOS/ESD潜在损伤/Snapback

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

马巍,郝跃..LDD-CMOS中ESD及其相关机理[J].半导体学报,2003,24(8):892-896,5.

基金项目

国防预先研究支持项目(项目编号:41308060305) (项目编号:41308060305)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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