物理学报2005，Vol.54Issue(2)：892-896,5.
SiCOH低介电常数薄膜的性质和键结构分析
Characterization and bonding configuration of SiCOH low-k films
摘要
关键词
低介电常数/SiCOH薄膜/化学键结构分类
数理科学引用本文复制引用
王婷婷,叶超,宁兆元,程珊华..SiCOH低介电常数薄膜的性质和键结构分析[J].物理学报,2005,54(2):892-896,5.基金项目
苏州大学薄膜材料江苏省重点实验室资助的课题. （）
