人工晶体学报2008，Vol.37Issue(4)：895-900,907,7.
圆柱形和椭球形谐振腔式MPCVD装置中微波等离子体分布特征的数值模拟与比较
Simulation and Comparison of Microwave Plasma in Cylindrical and Ellipsoidal Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition Cavity
摘要
关键词
金刚石膜/微波等离子体/FDTD方法/数值模拟分类
数理科学引用本文复制引用
王凤英,郭会斌,唐伟忠,吕反修..圆柱形和椭球形谐振腔式MPCVD装置中微波等离子体分布特征的数值模拟与比较[J].人工晶体学报,2008,37(4):895-900,907,7.基金项目
国家自然科学基金(No.10675017) （No.10675017）
