人工晶体学报2007，Vol.36Issue(1)：89-92,4.
GaAs微探尖的衬底选择刻蚀法剥离和转移
Peeling and Transferring of GaAs Microtips by Selective Wet Etching Substrate Technique
摘要
关键词
湿法刻蚀/液相外延/微探尖/扫描近场光学显微术分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙晓娟,胡礼中,田怡春,张籍权,张红治,梁秀萍,潘石..GaAs微探尖的衬底选择刻蚀法剥离和转移[J].人工晶体学报,2007,36(1):89-92,4.基金项目
国家自然科学基金(No.60377005) （No.60377005）
科技部重大基础研究项目前期研究专项基金(No.2004CCA03700) （No.2004CCA03700）
