机电工程技术2007，Vol.36Issue(12)：89-92,4.
LIGA工艺基础及其发展趋势
The Process Foundation and Developing Trend of LIGA Technology
吴广峰 1胡鸿胜 1朱文坚1
作者信息
- 1. 华南理工大学机械工程学院,广东广州,510640
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摘要
关键词
LIGA/X射线深层光刻/微电铸工艺/微复制工艺/准LIGA技术分类
数理科学引用本文复制引用
吴广峰,胡鸿胜,朱文坚..LIGA工艺基础及其发展趋势[J].机电工程技术,2007,36(12):89-92,4.
