中国电机工程学报2007，Vol.27Issue(3)：89-94,6.
基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计
Theory and Design of Optical Current Sensor Based on MEMS
摘要
关键词
光学电流传感器/微电子机械系统/扭转微镜/温度补偿/耦合损耗分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵本刚,徐静,高翔,刘玉菲,吴亚明..基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计[J].中国电机工程学报,2007,27(3):89-94,6.基金项目
国家自然科学基金项目(60572022). （60572022）
