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新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作

夏善红 刘加 陈绍凤 韩泾鸿 崔大付

半导体学报Issue(12)：901,1.
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半导体学报Issue(12)：901,1.

新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作

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夏善红,刘加,陈绍凤,韩泾鸿,崔大付..新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作[J].半导体学报,1997,(12):901,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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