无机材料学报2003，Vol.18Issue(4)：904-910,7.
等离子浸没离子注入沉积纳米TiN薄膜的机械性能研究
Mechanical Properties of TiN Nano-film Deposited by Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition
摘要
关键词
纳米薄膜/机械性能/TiN/等离子体浸没离子注入沉积分类
化学化工引用本文复制引用
万国江,黄楠,冷永祥,杨萍,陈俊英..等离子浸没离子注入沉积纳米TiN薄膜的机械性能研究[J].无机材料学报,2003,18(4):904-910,7.基金项目
973国家重点基础研究规划(G1999064705) （G1999064705）
863国家高技术研究发展计划(102-12-09-1) （102-12-09-1）
