金刚石与磨料磨具工程Issue(5)：90-92,3.
IC硅片纳米级抛光机专家控制技术的研究
Research on special controlling technology of ultra - precision polishing machine for IC wafer
摘要
关键词
超精密抛光/专家控制/嵌入式处理器分类
矿业与冶金引用本文复制引用
赵文宏,文东辉,戴勇,袁巨龙..IC硅片纳米级抛光机专家控制技术的研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2006,(5):90-92,3.基金项目
浙江省自然科学基金(M503059)、浙江省青年科技人才培养专项资金(RC02066) （M503059）
