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国防科技大学学报
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微机电系统技术的实际应用--微型仪器
微机电系统技术的实际应用--微型仪器
丁衡高
袁祖武
国防科技大学学报
2000，Vol.22
Issue(2)：90-94,5.
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国防科技大学学报
2000，Vol.22
Issue(2)
：90-94,5.
微机电系统技术的实际应用--微型仪器
The Typical Application of MEMS-Micro-Instruments
丁衡高
1
袁祖武
1
作者信息
1.
国防科技大学总装备部,北京,100034
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摘要
关键词
微机电系统
/
微型仪器
分类
机械制造
引用本文
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丁衡高,袁祖武..微机电系统技术的实际应用--微型仪器[J].国防科技大学学报,2000,22(2):90-94,5.
国防科技大学学报
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
1001-2486
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