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亚50nm自对准双栅场效应晶体管的量子和短沟道效应的研究

胡伟达 陈效双 全知觉 周旭昌 陆卫

红外与毫米波学报2006,Vol.25Issue(2):90-94,5.
红外与毫米波学报2006,Vol.25Issue(2):90-94,5.

亚50nm自对准双栅场效应晶体管的量子和短沟道效应的研究

STUDY ON QUANTUM AND SHORT-CHANNEL EFFECTS FOR SUB-50nm FINFETS

胡伟达 1陈效双 1全知觉 1周旭昌 1陆卫1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083
  • 折叠

摘要

关键词

自对准双栅场效应晶体管/量子力学计算/短沟道效应/量子效应

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

胡伟达,陈效双,全知觉,周旭昌,陆卫..亚50nm自对准双栅场效应晶体管的量子和短沟道效应的研究[J].红外与毫米波学报,2006,25(2):90-94,5.

基金项目

国家重点基础研究发展规划973(2001CB61040)、国家自然科学基金(60476040,60576068)、国家自然科学基金重点项目(60221502)和上海科学技术委员会重大基金(05DJ14003)资助项目 (2001CB61040)

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1001-9014

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