类金刚石薄膜硬度的研究OA北大核心CSCD
Study on Hardness of Diamond-like Carbon Film
采用脉冲真空电弧离子源镀制了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:基片温度、主回路电压、清洗时间、膜层厚度和脉冲频率等,分析了各种镀制参数对薄膜硬度的影响机理,找出了最佳镀制工艺参数.
蔡长龙;王季梅;杭凌侠;严一心;徐均琪
西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049西安工业学院光电科学与工程系,陕西,西安,710032西安工业学院光电科学与工程系,陕西,西安,710032西安工业学院光电科学与工程系,陕西,西安,710032
矿业与冶金
类金刚石薄膜脉冲电弧硬度工艺参数
《表面技术》 2002 (3)
9-11,3
陕西省自然科学基金资助项目(2000C25)
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