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半导体学报
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热退火对分子束外延生长的高纯GaAs薄膜中深能级的影响
热退火对分子束外延生长的高纯GaAs薄膜中深能级的影响
徐鸿达
半导体学报
Issue(12)：912,1.
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半导体学报
Issue(12)
：912,1.
热退火对分子束外延生长的高纯GaAs薄膜中深能级的影响
徐鸿达
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摘要
关键词
分子束外延
/
GaAs
/
薄膜
/
深能级
/
退火
分类
信息技术与安全科学
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徐鸿达..热退火对分子束外延生长的高纯GaAs薄膜中深能级的影响[J].半导体学报,1989,(12):912,1.
半导体学报
OA
CSCD
ISSN：
1674-4926
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