材料工程Issue(8)：9-12,4.
用于MEMS热敏传感器中绝热层的多孔硅性能研究
Study on Performance of Porous Silicon Used in Thermal Isolation Layer of Micro Thermal Sensor
摘要
关键词
热敏传感器/绝热层/多孔硅/绝热性能/力学性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李昌青,胡明,杨海波..用于MEMS热敏传感器中绝热层的多孔硅性能研究[J].材料工程,2008,(8):9-12,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(60071027,60371030) （60071027,60371030）
