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氧分压对ZrO2薄膜激光损伤阈值的影响

张东平 赵元安 范树海 高卫东 邵建达 范正修

强激光与粒子束2005,Vol.17Issue(1):9-12,4.
强激光与粒子束2005,Vol.17Issue(1):9-12,4.

氧分压对ZrO2薄膜激光损伤阈值的影响

Influences of oxygen partial pressure on the laser induced damage threshold of ZrO2 film

张东平 1赵元安 2范树海 1高卫东 2邵建达 1范正修2

作者信息

  • 1. 中国科学院,上海光学精密机械研究所薄膜中心,上海,201800
  • 2. 中国科学院,研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

ZrO2薄膜/氧分压/激光损伤阈值/电子束热蒸发

分类

数理科学

引用本文复制引用

张东平,赵元安,范树海,高卫东,邵建达,范正修..氧分压对ZrO2薄膜激光损伤阈值的影响[J].强激光与粒子束,2005,17(1):9-12,4.

基金项目

国家863计划项目资助课题 ()

强激光与粒子束

OA北大核心CSCD

1001-4322

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