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半导体学报
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利用回流效应的新型金属化系统研究
利用回流效应的新型金属化系统研究
李志国
张炜
孙英华
程尧海
郭伟玲
吉元
李学信
半导体学报
Issue(12)：914,1.
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半导体学报
Issue(12)
：914,1.
利用回流效应的新型金属化系统研究
李志国
1
张炜
1
孙英华
2
程尧海
2
郭伟玲
2
吉元
2
李学信
2
作者信息
1.
北京工业大学
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摘要
关键词
金属化系统
/
回流效应
/
半导体器件
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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李志国,张炜,孙英华,程尧海,郭伟玲,吉元,李学信..利用回流效应的新型金属化系统研究[J].半导体学报,1996,(12):914,1.
半导体学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN：
1674-4926
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