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离子注入快速热退火制造类视见函数光电探测器

郑国祥 邬建根 王昌平 朱景兵 屈逢源 周寿通

半导体学报Issue(12)：915,1.
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半导体学报Issue(12)：915,1.

离子注入快速热退火制造类视见函数光电探测器

郑国祥 1邬建根 1王昌平 1朱景兵 1屈逢源 1周寿通1

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摘要

关键词

光电探测器/离子注入/热退火

分类

信息技术与安全科学

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郑国祥,邬建根,王昌平,朱景兵,屈逢源,周寿通..离子注入快速热退火制造类视见函数光电探测器[J].半导体学报,1990,(12):915,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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