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微电子元件制造过程中的应力分析

徐千军 余寿文

计算结构力学及其应用1996，Vol.13Issue(1)：9-16,8.
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计算结构力学及其应用1996，Vol.13Issue(1)：9-16,8.

微电子元件制造过程中的应力分析

徐千军 1余寿文1

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摘要

关键词

有限元/应力分析/微电子元件/成型过程

分类

信息技术与安全科学

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徐千军,余寿文..微电子元件制造过程中的应力分析[J].计算结构力学及其应用,1996,13(1):9-16,8.

计算结构力学及其应用

OA北大核心CSCD

1007-4708

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