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纳米硅薄膜表面形貌分形特征的STM研究
纳米硅薄膜表面形貌分形特征的STM研究
万明芳
魏希文
李建军
邹赫麟
袁凯华
何宇亮
半导体学报
Issue(12)：917,1.
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半导体学报
Issue(12)
：917,1.
纳米硅薄膜表面形貌分形特征的STM研究
万明芳
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魏希文
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李建军
1
邹赫麟
1
袁凯华
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何宇亮
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关键词
纳米硅薄膜
/
表面形貌
/
分形
/
STM
分类
信息技术与安全科学
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万明芳,魏希文,李建军,邹赫麟,袁凯华,何宇亮..纳米硅薄膜表面形貌分形特征的STM研究[J].半导体学报,1995,(12):917,1.
半导体学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN：
1674-4926
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