半导体学报2005,Vol.26Issue(5):917-921,5.
色散对GaN和ZnO的XRD摇摆曲线的影响
Influence of Dispersion on ZnO and GaN XRD Rocking Curves
摘要
关键词
GaN/ZnO/金属有机物化学气相沉积/X射线双晶衍射/色散效应分类
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王立,方文卿,蒲勇,郑畅达,戴江南,莫春兰,江风益..色散对GaN和ZnO的XRD摇摆曲线的影响[J].半导体学报,2005,26(5):917-921,5.基金项目
国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2003AA302160) (批准号:2003AA302160)