半导体学报2007，Vol.28Issue(6)：918-922,5.
一种新型结构的静电感应晶体管
A Novel Structure for a Static Induction Transistor
摘要
关键词
静电感应晶体管/深槽结构/寄生效应/深槽腐蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
唐莹,刘肃,李思渊,吴蓉,常鹏..一种新型结构的静电感应晶体管[J].半导体学报,2007,28(6):918-922,5.基金项目
甘肃省自然科学基金资助项目(批准号:3ZS051-A25-034) （批准号:3ZS051-A25-034）
