红外与毫米波学报2004，Vol.23Issue(2)：91-94,4.
一种新的铁电薄膜快速热处理工艺的研究
Study on a new and rapid heat-treatment process for fabricating lead zirconate titanate thin film
摘要
关键词
快速热处理/链式热处理炉/减压蒸馏/钙钛矿结构分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李建康,姚熹..一种新的铁电薄膜快速热处理工艺的研究[J].红外与毫米波学报,2004,23(2):91-94,4.基金项目
国家重点基础研究发展计划(2002CB613304)和上海市重点学科建设资助项目 （2002CB613304）
