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化学气相沉积法制备纳米铁薄膜的实验研究

刘旭辉 谢巍 宋辉 徐葳 余江龙

沈阳航空工业学院学报2007,Vol.24Issue(4):91-94,4.
沈阳航空工业学院学报2007,Vol.24Issue(4):91-94,4.

化学气相沉积法制备纳米铁薄膜的实验研究

Experimental research for the preparation of iron nano-films by chemical vapor deposition

刘旭辉 1谢巍 1宋辉 1徐葳 1余江龙1

作者信息

  • 1. 沈阳航空工业学院飞行器动力与能源工程学院,辽宁,沈阳,110034
  • 折叠

摘要

关键词

化学气相沉积法/纳米铁/纳米薄膜

分类

化学化工

引用本文复制引用

刘旭辉,谢巍,宋辉,徐葳,余江龙..化学气相沉积法制备纳米铁薄膜的实验研究[J].沈阳航空工业学院学报,2007,24(4):91-94,4.

基金项目

辽宁省教育厅高等学校科学技术研究项目 ()

沈阳航空工业学院学报

2095-1248

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