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NiTi/ Si薄膜驱动微型无阀泵的系统研究

刘玲 谢海波 傅新 杨华勇 徐东

机械科学与技术2003，Vol.22Issue(6)：920-922,3.
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机械科学与技术2003，Vol.22Issue(6)：920-922,3.

NiTi/ Si薄膜驱动微型无阀泵的系统研究

Investigation of a Valveless Micropump Actuated by NiTi/ Si Diaphragm

刘玲 1谢海波 1傅新 1杨华勇 1徐东2

作者信息

  • 1. 浙江大学,流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027
  • 2. 上海交通大学,信息存储研究中心,上海,200030
  • 折叠

摘要

关键词

SMA/MEMS/微型无阀泵/数值计算/流量脉动

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

刘玲,谢海波,傅新,杨华勇,徐东..NiTi/ Si薄膜驱动微型无阀泵的系统研究[J].机械科学与技术,2003,22(6):920-922,3.

基金项目

国家自然科学基金(50175098)资助 （50175098）

机械科学与技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1003-8728

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