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自支撑薄膜剥离技术研究

樊启文 许国基 杜英辉 张榕

原子能科学技术2008,Vol.42Issue(10):925-929,5.
原子能科学技术2008,Vol.42Issue(10):925-929,5.

自支撑薄膜剥离技术研究

Research on Stripping Techniques of Self-supporting Thin Films

樊启文 1许国基 1杜英辉 1张榕1

作者信息

  • 1. 中国原子能科学研究院,核物理研究所,北京,102413
  • 折叠

摘要

关键词

自支撑/薄膜/剥离/脱膜剂

分类

数理科学

引用本文复制引用

樊启文,许国基,杜英辉,张榕..自支撑薄膜剥离技术研究[J].原子能科学技术,2008,42(10):925-929,5.

原子能科学技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-6931

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