脉冲激光沉积KTN薄膜动力学过程模拟

陈中军张端明李智华张美军

华中科技大学学报（自然科学版）2000，Vol.28Issue(5)：92-94,3.

Simulation of the Dynamics Process of Pulsed Laser Deposition of KTN Thin Film

陈中军 ¹张端明 ¹李智华 ¹张美军¹

作者信息

PLD技术/KTN薄膜/等离子体

数理科学

陈中军,张端明,李智华,张美军..脉冲激光沉积KTN薄膜动力学过程模拟[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2000,28(5):92-94,3.

华中理工大学激光技术国家重点实验室资助课题. （）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1671-4512

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