现代电子技术2005，Vol.28Issue(14)：92-94,3.
单轴硅微加速度传感器的原理与电路设计
Principle and Circuitry Design of Single Axis Micromachined Silicon Accelerometer Sensor
王文涛 1耿增建1
作者信息
- 1. 西安微电子技术研究所,陕西,西安,710054
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摘要
关键词
差动电容/电容电压转换/相位调制/开关电容解调分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王文涛,耿增建..单轴硅微加速度传感器的原理与电路设计[J].现代电子技术,2005,28(14):92-94,3.
