材料工程Issue(10)：92-94,97,4.
碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究
Microfabrication Silicon Tips in Iodine-supersaturated KOH Solution
摘要
关键词
AFM探针/削角/硅尖/各向异性腐蚀/微电子机械系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
韩建强,卢少勇,李青,王疆英..碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究[J].材料工程,2008,(10):92-94,97,4.基金项目
国家自然科学基金(60772008)以及中国计量学院123人才计划项目的资助 （60772008）
