Piezo微步进执行器的时间响应分析

周自强胡朝斌马文斌沈世德易风

Journal of Changshu Institute of Technology2007，Vol.21Issue(10)：92-95,4.

The Research of the Response Time for Piezoelectric Stepping Actuator

周自强 ¹胡朝斌 ¹马文斌 ¹沈世德 ¹易风¹

作者信息

超精密/微步进/时间响应

机械制造

周自强,胡朝斌,马文斌,沈世德,易风..Piezo微步进执行器的时间响应分析[J].Journal of Changshu Institute of Technology,2007,21(10):92-95,4.

江苏省教育厅自然科学基金(06KJD460004)资助项目. （06KJD460004）

ISSN：1008-2794

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