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半导体学报
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SIMOX材料的TEM研究
SIMOX材料的TEM研究
李映雪
奚雪梅
王兆江
张兴
王阳元
林成鲁
半导体学报
Issue(2):93,1.
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半导体学报
Issue(2)
:93,1.
SIMOX材料的TEM研究
李映雪
1
奚雪梅
1
王兆江
1
张兴
1
王阳元
1
林成鲁
1
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摘要
关键词
SIMOX材料
/
TEM
/
半导体材料
分类
信息技术与安全科学
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李映雪,奚雪梅,王兆江,张兴,王阳元,林成鲁..SIMOX材料的TEM研究[J].半导体学报,1996,(2):93,1.
半导体学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN:
1674-4926
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