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SIMOX材料的TEM研究

李映雪 奚雪梅 王兆江 张兴 王阳元 林成鲁

半导体学报Issue(2):93,1.
半导体学报Issue(2):93,1.

SIMOX材料的TEM研究

李映雪 1奚雪梅 1王兆江 1张兴 1王阳元 1林成鲁1

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摘要

关键词

SIMOX材料/TEM/半导体材料

分类

信息技术与安全科学

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李映雪,奚雪梅,王兆江,张兴,王阳元,林成鲁..SIMOX材料的TEM研究[J].半导体学报,1996,(2):93,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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