半导体学报2005，Vol.26Issue(5)：931-935,5.
Si基氨化ZnO/Ga2O3薄膜制备GaN纳米线
Synthesis of GaN Nanowires Through Ammoniating ZnO/Ga2O3 Films on Si Substrates
摘要
关键词
GaN纳米线/ZnO/Ga2O3薄膜/射频磁控溅射/氨化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
高海永,庄惠照,薛成山,王书运,何建廷,董志华,吴玉新,田德恒..Si基氨化ZnO/Ga2O3薄膜制备GaN纳米线[J].半导体学报,2005,26(5):931-935,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:90301002,90201025) （批准号:90301002,90201025）
