传感技术学报2008，Vol.21Issue(6)：933-937,5.
MEMS微型热敏传感器的隔热结构及其性能分析
On Heat Insulation of Micro Thermal Sensor Using FEA
摘要
关键词
热敏传感器/MEMS/隔热结构/灵敏度/响应速度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马炳和,周保清,邓进军,苑伟政..MEMS微型热敏传感器的隔热结构及其性能分析[J].传感技术学报,2008,21(6):933-937,5.基金项目
航空基金资助(04I53074) （04I53074）
国家自然科学基金资助(50775188) （50775188）
