传感技术学报2009，Vol.22Issue(7)：934-940,7.
一种结合温差式和风速计式的新结构MEMS热式流量计
A New Structure MEMS Thermal Flow Sensor Combining Two Principles
陈则 1曾祥宇 1张晟 1黄宜平1
作者信息
- 1. 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室,上海,200433
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摘要
关键词
微机电系统/热式流量计/有限元分析/Matlab分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈则,曾祥宇,张晟,黄宜平..一种结合温差式和风速计式的新结构MEMS热式流量计[J].传感技术学报,2009,22(7):934-940,7.
