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多孔硅形成机理研究的新进展

付世 丁德宏 姚朋军 单新华 沈桂芬

辽宁大学学报(自然科学版)2003,Vol.30Issue(1):93-96,4.
辽宁大学学报(自然科学版)2003,Vol.30Issue(1):93-96,4.

多孔硅形成机理研究的新进展

A Review on the Lastest Research on Formation Mechanism of Porous Silicon

付世 1丁德宏 1姚朋军 1单新华 1沈桂芬1

作者信息

  • 1. 辽宁大学,物理系,辽宁,沈阳,110036
  • 折叠

摘要

关键词

多孔硅/晶向/散射/孔隙度

分类

数理科学

引用本文复制引用

付世,丁德宏,姚朋军,单新华,沈桂芬..多孔硅形成机理研究的新进展[J].辽宁大学学报(自然科学版),2003,30(1):93-96,4.

辽宁大学学报(自然科学版)

1000-5846

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