传感技术学报2006，Vol.19Issue(1)：93-96,4.
固定宽度结构等离子体刻蚀中Lag效应的数值模拟
Numerical Simulations of Lag Effect in Fixed-Width-Structure Plasma Etching
摘要
关键词
等离子体刻蚀/Lag效应/时间步长/数值模拟分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张鉴,黄庆安,李伟华..固定宽度结构等离子体刻蚀中Lag效应的数值模拟[J].传感技术学报,2006,19(1):93-96,4.基金项目
国家杰出青年科学基金资助课题(50325519) （50325519）
